测量台、曝光台、激光器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩模版、掩膜台、物镜、硅片、内部封闭框架、减振器

　　光刻机产业链主要包含两个核心部分：1）光刻机核心组件，包括光源、物镜、双工作台、浸没系统等关键子系统；

　　福晶科技：曾在互动平台回复，通过欧洲代理和ASML签署保密协议，提供部分产品。

　　赛微电子：曾在互动平台回复，为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服。

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